為克服干濕球法測量精度不高，人為操作影響過大的缺點，近十幾年固體式濕度敏感頭(如電容式濕度傳感器)在解決了低溫(-55~70°C)下使用的問題后，開始應用到環境試驗設備恒定濕熱試驗箱廠家中，其測量精度可達到+1~3%RH。

濕度的控制精度除了受測濕手段制約外，還與加濕方式有關，在環境試驗箱恒定濕熱試驗箱廠家中加濕的方法很多，通用的有以下三種：

（1)水盤式加濕：分為自然蒸發和電加熱蒸發,此種加濕方法加濕的速率慢。控制精度較低，多適合于恒定濕熱試驗箱廠家。

（2)噴蒸汽加濕：加濕的速率快，但加濕的波動度大，容易實現快速控制，控制精度較好，但由于噴入100°C蒸汽，對箱內的溫度狀態會產生少量的干擾。

（3)噴霧化的水：霧化水的微粒直徑大體在10~50μ此種方法具有噴蒸汽加濕的優點，又不需要外置蒸汽鍋爐，并可以調整噴水微粒的溫度和箱體內試驗溫度相同，是一種比較好的加濕方式。